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小型流量计种类非常多，不同工况要选用不同的微量流量传感器来测量。 美国MCMILLAN 公司生产的多种小型流量计，包括微小涡轮流量计和微量热式质量流量计。测量多种液体和气体的微小流量。尺寸小巧。不占空间。 液体流量传感器的最小量程为0.05-0.5 ml/min，气体微小流量传感器的最小量程为2-20 SCCM |
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为热式质量流量计，不受压力和温度影响，测量稳定可靠 测量范围从 0-20 sccm 至 0-100 L/minute. 重复性极高.近于零漂移，响应速度快，带线性信号输出 . Model 50 系列产品为紧凑型产品。广泛适用于工业、商业、实验室等行业 . |
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测量 0-50 sccm 至 0-10 L/minute. 重复性极高.近于零漂移，响应速度快，带线性信号输出 |
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能测量大部分洁净气体或回合气体。量程范围包括 20-100 mL/minute 到100-500 Lpm! 产品重复性极高。零漂移。无需维护 Model 100 系列产品为紧凑型产品。广泛适用于工业、商业、实验室等行业 输出模拟量：0-5 VDC可选配显示仪表 |
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101系列微小涡轮流量计（小型流量计） 能测量非常小的流量，流量范围从13 ml/min 至10 L/min。精度优于+/_1.0%。. 1988年采用涡轮技术研发而成，多年声誉鹊起 . Model 100 系列产品为紧凑经济型产品。广泛适用于工业、商业、实验室等行业。测量水、燃油、轻质油、溶剂、冷却剂、农药、若酸性介质、弱碱性介质和去离子水等塑料、铜材质、不锈钢 、PTFE材质 螺纹连接 模拟信号输出 、脉冲信号输出等 |
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109系列微小精密流量计 能测量极端非常小的流量，流量范围从0.05 ml/min 至10 ml/min。精度优于+/_1.0%。. Model 109 系列产品能测量多种介质包括水、溶剂 、酸性介质或其他腐蚀性液体不锈钢材质 螺纹连接 模拟信号输出 、脉冲信号输出等 尺寸小4.75 x 2.05 inches (without fittings) . 响应速度快 |
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Model802流量测量控制仪 UNP专用 搭配Cam-driven Diaphragm Valve，提供+/-1%的高精确度、高达+/-0.2%的覆现性、以及<=3秒的灵敏反应速度，并且没有零点漂移的缺点。 全机不含消耗性零组件。内部流道采一体成型设计，没有fitting、seal等零组件，维护成本极为低廉。没有流体沈积及阻塞问题，不需更换耗材、backflush，也不需PM。所有接液部位零件均采用PTFE、Kal-Rez、sapphire材质制成，具有极佳的化学耐受性。 适用于CMP slurries、酸液、溶剂、以及其它的高纯净流体，完全符合UHP等级规范。 具备15~10000mL/min的广泛流量范围、可耐受高达90℃的流体温度、2~80psi的操作压力范围等特性，提供使用者广泛的应用选择。 |
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